SolidSpec-3700/3700DUV

适用于光学、半导体及FPD应用—岛津UV-VIS-NIR分光光度计

是一款顶级的高灵敏度分光光度计，可进行深紫外区检测，具备大样品室，可满足光学、半导体及FPD在以下方面的检测需求。

FPD：
材料评估中NIR和大样品的高灵敏度测定。

半导体：
短波长激光和12英寸晶片整体表面的深紫外区测定。

光通信： 
减反射膜NIR高灵敏度测定。

光学：
从DUV到NIR再到大样品的高灵敏度分析。

SolidSpec-3700/3700DUV特点

高灵敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是第一台使用3个检测器的分光光度计：光电倍增管（PMT）探测器检测紫外区和可见光区，近红外区使用InGaAs 和 PbS检测器。InGaAs 和 PbS检测器的使用使得近红外区域的灵敏度显著增强。

深紫外区检测
SolidSpec-3700DUV具有检测深紫外区的能力，可测定至165nm或175nm的积分球。此检测是用氮气吹扫光室和样品室进行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光单元DDU-DUV测定）的最短波长。

大样品室
大样品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不损伤大样品的前提下进行检测。其垂直光路可直接测量大样品同时保持它们的水平状态。使用自动X-Y样品台（选配）测定样品的尺寸是12英寸或310×310mm。

Optional Accessories选配组件

Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光单元DDU/DDU-DUV对于液、固样品透过率测定
自动X-Y样品台（自动测量）
大型镜面反射附件
氮气流量装置
绝对镜面反射附件(5°12°30°45°)
积分球删除样品盘

一体软件

SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe软件包括光谱模块，光度模块，动力学及报告模块等功能。多重的安全性及可追踪性以确保删除数据的可靠性。

光学组件需要对透光率及反射率进行高精度测定。SolidSpec-3700/37000DUV拥有三个检测器，覆盖的范围从紫外区到近红外区。通过使用InGaAs和冷却型PbS检测器提高近红外区的灵敏度。从而得到从紫外区到近红外区高精度和高灵敏度光谱。

传统的分光光度计使用一个光电倍增管对紫外和可见区域进行检测。但所有检测器在检测器转换范围内灵敏度较低，因此在此范围检测时无法实现高灵敏度测定。 SolidSpec-3700/3700DUV通过使用InGaAs检测器可在转换领域内进行高灵敏度检测。

高灵敏度检测

InGaAs检测器和PbS 检测器测定锐截止滤光片透过率的谱图如下图所示：SolidSpec-3700/3700DUV从850至1600nm范围内实现了低噪音水平，与传统的分光光度计相比，1300至1600nm范围内，噪声减少了四分之一。

SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透过率小于1%的前提下，噪声水平小于0.1%。此波长范围的高灵敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成为检测低反射样品的强有力工具，如在光传输中使用的防反射涂层及薄膜。

1500nm处的噪声为世界最优水平，小于0.00005Abs（狭缝宽度8nm，RMS），删除使用直接受光单元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狭缝宽度2nm，RMS）

为进行深紫外区的测定，检测器的窗口和积分球内壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT检测器使用特制熔融石英作为窗口材料，积分球内壁使用深紫外区具有高反射性能的特殊树脂。

深紫外区高灵敏度和低杂散光测定

深紫外区的高精度测定要求充足光通量和低杂散光。
右图是使用直接受光单元DDU-DUV（选配）测定石英板的透过率光谱。
在紫外区域可得到超低噪声的光谱。

SolidSpec-3700/3700DUV配有大样品室，可使大样品进行无损检测。其内部尺寸为900W x 700D x 350H。
可测定的最大样品尺寸700W x 560D x 40H mm。样品尺寸为12英寸或310 x 310 mm的样品可用自动X-Y样品台（选配）
使用X-Y样品台的大样品室

使用X-Y样品台测定12英寸硅片

自动检测

为SolidSpec-3700/3700DUV研发的自动X-Y样品台可对提前指定点进行自动检测，同时又可进行氮气吹扫。

12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光谱

12英寸硅片上薄膜的厚度测定